工艺设备，合计新增工艺设备64台（套）。
建设周期定为24个月。
本项目总投资为136300万元，由建设单位自有资金34000万元，
其余为银行贷款。
3建设的必要性
3.1项目建设背景
3.1.1项目产品的应用
（1）高纯三氟化氮主要应用于大规模集成电路和显示面板等制
造过程中的清洗、刻蚀工艺。在离子蚀刻时裂解为活性氟离子，活性氟离子对硅和钨等化合物，具有良好的蚀刻速率和选择性，同时在蚀刻时在蚀刻物表面不留任何残留物，是非常良好的清洗剂，对生产设备腔体的清洗起着良好的作用，因此在芯片制造、高能激光器方面得到大量应用。
（2）超纯氨是芯片制作过程中的关键性基础化工材料之一，性
能好、纯度高，应用场景众多。在光电子材料领域，超纯氨是新型气相外延生长技术制备GaN（氮化镓）的重要基础材料，在LED、液晶面板、射频放大器、功率器件等场景应用较为广泛；在化工领域，超纯氨是制备三氟化氮、氮化硅的基础材料，主要应用于冶金、机械制造、工业阀门等场景；此外，在半导体、光伏电池、集成电路等领域，超纯氨均有着较大应用前景。
（3）液氮是一种常用的工业介质，具有极低温度、强冷却能力
和可控性，使其成为许多领域的重要工具和媒介，在食品冷冻、医疗生物科学、金属加工焊接、电子半导体工业、燃烧实验推进剂、实验室科学研究等领域，具有独特的作用和特点。
3.2项目建设的必要性
3.2.1符合国家产业政策支持方向，满足行业市场快速发展需要。
半导体产业，尤其是集成电路产业，是信息技术产业的核心，是
支撑经济社会发展和保障国家安全的战略性、基础性和先导性产业，一直受到国家的关注和重点扶持。发展集成电路产业已上升到国家战略高度。
在半导体工业中应用的有100余种单元电子气体，其中常用的超
过30种，用量最大的有NF、WF等，主要应用在集成电路、面板。
36
半导体照明、光伏等领域。全球电子气体行业规模年增速达11，预计到2025年规模达250亿美元。
高纯三氟化氮气体主要应用在集成电路制造超大规模集成电路
蚀刻、清洗。近年来，随着集成电路技术由化学气相沉积转变为原子层沉积，以及3D闪存技术的发展使得NF高纯气体用量增加。
3
超纯氨在国内半导体、LED等产业快速发展带动下，其市场需求
不断增加、产量不断提升。随着下游光伏新增装机规模的快速提升，以及液晶面板TFT和集成电路芯片等应用领域的快速发展，预计超
纯氨仍有较大市场空间。
（1）国家重大产业政策
工业气体产业近年来得到国家政策的大力支持。国家发改委、科
技部、工信部、财政部等多部门相继出台多部新兴产业相关政策，均明确提及并部署了工业气体产业的发展，并且对于电子气体确立了其新材料产业属性，有力推动了工业气体、电15m×7m×5m，骨架工业
级方矩管（可拆卸）、面板阻燃A级子气体产业的发展。
2020年8月5日，国务院印发《新时期促进集成电路产业和软
件业高质量发展的若干政策》，在现有的政策基础上，首次推出十年免征所得税政策，支持28nm（含）及以下先进工艺生产企业的发展。
“新政策”的落地长期利好中国集成电路行业发展，加速半导体国产化进程，遍及全产业链的“两免三减半”政策，有望促进全产业链健康发展。近日，国家又出台政策要求半导体产业在2025年国产化率
达到70。
对于电子气体产业来说，国内的企业起步较晚，发展水平远落后
于世界领先的电子气体生产商，正是派瑞特气公司发展难得的机遇，借助“国家政策”的东风，做强做大企业。同时，国家政策存在对派瑞特气公司发展制约的一面，随着国家的发展，对安全、环保的要求更为苛刻，在安全环保方面的投入要求更高、安评环评及合规性要求更严。
（2）地方发展的需要
《内蒙古自治区人民政府关于印发自治区国民经济和社会发展
第十四个五年规划和2035年远景目标纲要》努力实施重大科技创新
攻关，聚焦制约产业转型升级的重点领域和突出短板，瞄准、新材料、制造、生态环境、现代农牧业等重点领域。强调“加快发展新材料产业”，发挥煤化工、、氟化工产业优势，积极发展先进高分子材料和复合材料。
4建设方案
4.2.1自动控制
4.2.1.1研究范围
研究范围为中船派瑞特种气体（呼和浩特）有限公司（暂定名）
高纯电子气体项目（一期）自控专业内容，包括电解车间、纯化装置、三废处理区、超纯氨生产装置、三氟化氮充装车间等单元的仪表及控制系统。
4.2.1.2控制系统
本项目按“技术先进、经济合理、运行可靠、操作方便”的原则，
设置基本生产过程控制系统（BPCS），对生产过程集中监视、分散控制，根据生产装置的规模、流程特点及操作要求，对生产过程中的温度、压力、流量、液位、气体成份、阀门和设备运行状态等工艺参数的指示、报警、联锁、调节、累积、记录等功能均在基本生产过程控制系统（BPCS）上实现，基本生产过程控制系统（BPCS）采用分散
型控制系统（DCS）。对于涉及“两重点一重大”的生产装置，根据
HAZOP分析以及LOPA分析结果，设置独立的安全仪表系统（SIS）。
为保证安全生产、保证人员、环境安全设置独立基本生产过程控制系统的可燃有毒气体检测报警控制系统（GDS）。采用分散型控制系统
（DCS）对生产过程进行监控，可燃有毒气体检测报警控制系统（GDS）保证装置的整体高度安全性。监控纳入新建控制指挥中心的控制室内，生产装置区附近设置现场1#机柜间，空分装置等公辅工程附近设置
现场2#机柜间（二期预留），通过统一调度、管理，使控制和管理水平达到同类项目国际先进水平。
4.2.3.2.1基本生产过程控制系统（BPCS）
本项目成品质量要求高、检测及控制系统回路数较多，系统复杂，
生产过程控制水平要求高，为了保证工艺装置长期、稳定、安全运行，能够及时向操作人员提供有关的运行信息，快速、稳定地满足负荷变化要求，保持稳定经济运行。本项目采用集散控制系统即DCS系统
对工艺装置进行监控、控制、报警和联锁；对装置工艺生产的过程参数和产品物料储存过程进行集中的数据采集、监视、控制、报警、联锁。工艺参数超限报警、联锁和危险状态的紧急状态停车均由DCS完成，为确保工艺装置及操作人员的安全，凡在工艺生产和储存过程中可能因越限而对设备，人员及安全，产生危害或影响的过程参数均设声光报警和紧急联锁切断；同时DCS系统具备远程控制、记录、打
印等功能。
本项目工艺参数在DCS系统的自控控制依据下列原则确定：
1、对工艺过程影响较大，需随时监控的参数设调节；
2、对需要经常了解其变化趋势的参数设记录及趋势变化；
3、对工艺过程影响不大，但需经常监视的参数设显示指示；
4、对可能影响生产、质量及安全的参数设报警或报警及联锁；
5、对要求计量或经济核算的参数设计计算；
6、对生产重要运转设备设置运行状态显示、故障状态报警。
监控要求不频繁的非关键过程变量，采用就地显示和控制；要求
在开车过程中监视或仅需现场观察的过程变量，采用就地显示。
设置必要的能源消耗、原料、中间产品和最终产品的计量仪表，
其精度符合本行业有关规定的要求。
4.2.3.2.2安全仪表系统（SIS）
为确保人员及生产装置、重要机组和关键设备的安全，本项目设
置SIS系统，以实现在紧急或事故状态下对重要装置紧急停车，使危险降低到最低程度，防止危险扩散，保证人员、设备、生产装置和环境的安全，避免造成重大损失。设置的安全仪表系统（SIS）独立于
DCS系统，按照故障安全型设计。在控制指挥中心的操作间内设置
SIS操作员站，用于日常安全仪表系统的监控与操作。
4.2.3.2.3成套设备控制系统
本装置有三废处理装置、空压装置等由厂家配套控制系统，信号
经通讯接入全厂DCS系统，实现三废处理装置、空压装置等各种参
数的基本控制及装置运行状态监控和联锁保护。
4.2.3.2.4可燃/有毒气体检测报警控制系统（GDS）
为保证生产过程的安全进行、人员安全、环境安全，本项目设独
立于分散型控制系统和安全仪表系统的可燃有毒气体检测报警控制
系统（GDS），可燃有毒气体检测报警控制系统包括可燃有毒气体检
测报警控制管理主机、控制柜和可燃有毒气体检测器，在控制指挥中心的操作室设置GDS管理主机，GDS控制柜设置在现场机柜室，在
现场各车间、仓库等可能发生可燃或有毒气体泄漏的场所设检测器，检测器带现场声光报警器。
4.2.1.3仪表选型
4.2.3.3.1仪表选型原则
1、本项目选用经过技术和产品鉴定的产品，在构成系统时应考
虑其先进性、可靠性、配套性及经济性。选用产品时遵循技术先进、质量优良、价格合理、售后服务好的原则。
2、在同类用途中，国内已有生产且在技术上、性能上能满足使
用要求，符合相关标准，优先采用国内产品。
3、现场仪表的材质满足工艺介质和现场环境条件的要求。根据
本项目的介质易燃易爆的特点，爆炸危险区远传仪表均采用隔爆型结构,部分具有腐蚀性的介质，仪表一次元件和调节阀接液部分材质均
按防腐考虑。
4、一般情况下采用标准传输信号。即仪表传输信号为4～20mA
D.C Hart，两线制，热电阻、热电偶为电阻信号及直流毫伏信号，个别特殊用途的仪表，亦可采用其它信号。
5、对于测量变量的计量采用法定计量单位。
4.2.3.3.2仪表具体选型
（1）分散型控制系统（DCS）、安全仪表系统（SIS）、可燃有
毒气体检测报警控制系统（GDS）
采用行业先进水平的分散型控制系统、安全仪表系统。安全仪表
系统的逻辑控制器必须获得权威机构功能安全认证。安全仪表系统的传感器以及执行元件，需满足LOPA分析对于SIF回路的SIL等级要
求。
（2）温度仪表
集中检测：选用铂热电阻、温度变送器等。
就地检测：选用抽芯式双金属温度计。
（3）压力仪表
集中检测：选用压力变送器。
就地检测：选用压力表、耐震压力表等。
（4）流量仪表
集中检测：选用涡街流量计、金属管浮子流量计、电磁流量计。
质量流量计、流量控制器等。
就地检测：选用水平旋翼式水表、转子流量计。
（5）液位测量
集中检测：选用差压变送器、超声波液位计、雷达液位计等。
就地检测：选用磁翻柱液位计等。
（6）分析仪表
工艺流程用分析仪表采用智能型分析仪，自带预处理装置及相关
配件，首选24VDC供电，当不能选到时选用220VAC供电。过程分
析仪（工业色谱仪、微量水分析仪、氧
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